PED Sistemleri

PED nedir?

Darbeli Elektron Biriktirme (PED), darbeli (80-100 ns) yüksek güçlü elektron ışınının (~1000 A, 15 kV) hedefe yaklaşık 1 μm nüfuz ederek hedef malzemenin hızlı bir şekilde buharlaşmasına neden olduğu bir işlemdir. Hedefin dengesiz ısınması, hedef malzemenin stokiyometrik ablasyonunu kolaylaştırır. Optimum koşullar altında, biriktirilen filmlerde hedef stokiyometri korunur. PLD'de lazer dalga boylarına şeffaf olanlar da dahil olmak üzere tüm katı hal malzemeleri - metaller, yarı iletkenler ve yalıtkanlar - PED ile ince filmler olarak biriktirilebilir. PLD ve PED'i birleştirerek, ince filmler olarak hazırlanabilen karmaşık malzeme yelpazesi büyük ölçüde geliştirilebilir.