8921SC13, 13.56 MHz Ultra Kararlı Yağ-Dielektrik RF Sonlandırma

Maksimum proses tekrarlanabilirliği ve tutarlılığı için modern plazma uygulamaları, hassas RF güç regülasyonu ve kontrolü gerektirir. Hazneye doğru ve tekrarlanabilir RF güç iletimi sağlamanın kilit bir bileşeni, RF jeneratörünün kalibrasyonu, düzenlenmesi ve izlenmesidir. Bird şimdi, Bird 4020 serisi gibi hassas güç sensörleri ile kullanıldığında jeneratör güç çıkışının hızlı ve hassas ölçümü için ultra kararlı, düşük VSWR yükleri sunuyor. 8921SC13, yalnızca düşük VSWR sağlamakla kalmaz, aynı zamanda proses kritik frekanslarında VSWR'de 0,1 dB'den daha az toplam değişiklik sağlar. Farklı süreler için kalibrasyon nedeniyle yükün ısınmasına veya tekrarlanabilirlik riskine gerek yoktur. Bu, bu kalibrasyonla ilişkili hataları en aza indirebilir ve daha kritik süreç değişkenlerinden birini kontrol edebilir.